ProCon X-Ray GmbH

CT-ALPHA nanotube

CT-System für Auflösungen bis zu 150 nm

Das CT-ALPHA nanotube ist eine einzigartige Lösung für hochauflösende Messungen, die den bisherigen industriellen Mikro-CT-Scannern weit voraus ist, indem es die neuesten Entwicklungen aus der Röntgenforschung nutzt.

  • Min. Voxelabtastung 50 nm
  • Räumliche Auflösung bis zu 150 nm
  • Detektor mit Photonenzählung
  • Variables Sichtfeld
  • Automatische Ausrichtung
  • Modernste Rekonstruktion

Einfach zu handhabendes, zukunftsorientiertes Nano CT

Das System kombiniert modernste Komponenten für höchste Auflösung. Unsere Erfahrung im Hardware- und Software-Design ermöglicht es uns, die Systeme perfekt an Ihre individuellen Bedürfnisse anzupassen. Wir verwenden nicht nur hochpräzise Komponenten, sondern entwickeln auch modernste Rekonstruktionsalgorithmen.

Eine Hauptkomponente des Systems ist die Hochleistungsröntgenquelle NanoTube N3 von Excillum, eine bis zu 160 kV starke Röntgenröhre mit neuester Wolfram-Diamant-Transmissionstarget-Technologie, automatischer E-Beam-Fokussierung und Astigmatismus Korrektur, die sicherstellt, dass der kleinstmögliche, exakt runde Röntgenfleck erreicht wird.

Die zweite Hauptkomponente ist der photonenzählende Röntgendetektor von DECTRIS. Dieser Detektor ermöglicht ein optimales Signal-Rausch-Verhältnis, da er kein Ausleserauschen und keinen Dunkelstrom aufweist. Darüber hinaus ermöglicht die doppelte Energieunterscheidung eine digitale Spektren Anpassung.

Zwei separate Einstellsysteme ermöglichen eine sehr präzise Detektor- und Probenpositionierung. Ein hochpräziser luftgelagerter Drehtisch sorgt für eine genau definierte Probenrotation, die auf einem linearen Positioniersystem mit 3 Freiheitsgraden montiert ist. Ein separates Einstellsystem mit zwei Freiheitsgraden auf dem Drehtisch ist für die automatische Probenposition mittig zur Drehachse vorgesehen.

Spezifikationen

Min. Voxelabtastung

50 nm

Max. geometrische Vergrößerung

Bis zu 1,500 x für CT

Detektor mit Photonenzählung

Kein Dunkelstrom

Aktivbereich

2.000 x 500 Pixel bei 75 µm Pixelgröße
optional bis zu 8.000 x 2.000 Pixel

Hoher Wirkungsgrad auch bei niedrigen Energien

Für Proben mit geringem Kontrast

Variable field of view

100 µm - 10 mm

Räumliche Auflösung

bis zu 150 nm

Maximale Spannung

bis zu 160 kV

Achsensystem

12-achsiger Manipulator

Axiale Auflösung

< 100 nm

Automatische Ausrichtung

Benutzerfreundlicher Workflow

State-of-the-art reconstruction

Erweiterter Algorithmus

Kompaktes Design

Kleine Grundfläche von 2,0 m x 1,0 m

Easy to Use

Scannen in Nanometerauflösung war noch nie so einfach.

Die Steuerungssoftware unterstützt den Benutzer in allen Bereichen.

Ein separates Einstellsystem auf dem hochpräzisen luftgelagerten Rotationstisch ist vorgesehen, um die Proben automatisch im Zentrum der Rotation zu positionieren.

Von der Einstellung der Scan-Parameter bis zur Rekonstruktion des Volumens wird der Nutzer durch eine einfache und übersichtlich gestaltete grafische Benutzeroberfläche geführt.

Hohe Stabilität: Die Voraussetzung für herausragende Auflösung

Für die höchste Auflösung mit bis zu 150 nm betragen die typischen Messzeiten 4 bis 8 Stunden. Niedrigere Auflösungen, die qualitativ immer noch über denen anderer Geräte liegen, können in 1 bis 2 Stunden erstellt werden.

Moderne Labortechnik für industrielle Anwendungen

Die funktionellen Eigenschaften neuartiger Materialsysteme beruhen häufig auf ihren komplexen inneren Strukturen, die mit etablierten zerstörungsfreien Analysemethoden nicht zugänglich sind.

Die Herstellung von Mikroelektronik und Mikromechanik wird immer komplexer, dichter und dreidimensionaler. Nach Jahrzehnten erfolgreicher Miniaturisierung produziert die Industrie nun Strukturen, die für die etablierte Prozesskontrollen zu klein geworden sind, was weitere Verbesserungen verhindert. Darüber hinaus würden auch bei biologischen Untersuchungen detailliertere 3D-Informationen über verborgene innere Strukturen helfen, die Morphologie verschiedener Organismen zu verstehen. Doch solche Proben bieten oft einen zu geringen Materialkontrast.

Materialwissenschaft: TSV-Kontakte in einem 48-Schicht-V-Nand-Halbleiterspeicher
Materialwissenschaft: TSV-Kontakte in Halbleiter-48-Layer-V-Nand-Speicher
Benutzer- und Bildbearbeitungssoftware

Hardware und Software – füreinander gemacht

Die beste Hardware braucht eine großartige Software, um sie zu betreiben und Ihnen zu helfen, die besten Ergebnisse aus Ihrer Investition zu erzielen.

Wir entwickeln unsere eigene Software oder empfehlen Software von Drittanbietern, die auf Ihren speziellen Anwendungsfall zugeschnitten ist.

Erfahren Sie hier mehr über Software für Ihr CT-System

Software

Nehmen Sie Kontakt mit uns auf

Möchten Sie mehr über ein CT-System für Ihre Organisation oder Institution erfahren?
Nehmen Sie Kontakt mit uns auf, indem Sie auf den Button unten klicken.

Vertrieb kontaktieren